氟化氢系统

氟化氢系统包括：无水氟化氢储罐，流量计，报警器，球阀，止回阀，输送管道。
介质：HF气体
温度：常温
压力：2 —4公斤
用量：700m3/年 所需流量是33g/s
管径选：DN15 mm （不锈钢加四氟内衬）
管内流速：0.2m/s
储槽：1m3 （材质 不锈钢加四氟内衬）
阀门： (球阀，止回阀 不锈钢加聚四氟内衬）
以上为低温段的要求。 
高温段温度要求在 150--220℃ 采用夹套管加热 材质为因康（Inconel）合金或NS331。