杜邦高性能弹性体公司推出全氟弹性体部件

杜邦高性能弹性体公司(DuPont Performance Elastomers)推出了专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez®; 8900全氟弹性体部件。Kalrez® 8900部件实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命,减少了昂贵的设备停工时间,降低了设备拥有成本。此外, 杜邦高性能弹性体公司还公布了Kalrez® 9100部件最近在沉积、蚀刻、灰化/剥离等制程上在多家世界著名IC生产商的成功应用，证明其为最可信赖,具有最长使用寿命的革命性全氟化弹性体密封件。